クリーンルーム関連機器

高性能フィルタが使用されている空間においてより清浄を求められる時又は、その空間に入る前にあらかたの塵埃を払拭することを目的とした装置です。

産業技術のめざましい発展に伴い、エレクトロニクス、精密工業、医薬品製造、医療、食品工業、バイオ等の多種多様な分野にわたり、作業環境の清浄化が必要となってきました。空気中の塵埃、細菌の除去方法については最近急速に進歩し、現在では、ほぼ完全に近い状態にまで除去できるようになりました。

室内気流の形状
  • 乱液方式クリーンルーム
  • 水平層液方式クリーンルーム
  • 垂直層液方式クリーンルーム
  • トンネル方式クリーンルーム
  • 混液方式クリーンルーム
設置場所による施工
  • 自立型クリーンルーム
  • 吊り下げ型式クリーンルーム
  • 直付型クリーンルーム
清浄度のクラス分類
  JIS B9920 ISO 14644-1 米国連邦規格 半導体
分野
209 E 209 D
基準粒径 0.1μm以上 0.5μm以上 0.1μm以上
単位体積 m3 ft3 ft3
クラス表示 1 ISO 1     1
2 ISO 2 M1   10
3 ISO 3 M1.5
M2
1 100
4 ISO 4 M2.5
M3
10 1,000
5 ISO 5 M3.5
M4
100 10,000
6 ISO 6 M4.5
M5
1,000 100,000
7 ISO 7 M5.5
M6
10,000  
8 ISO 8 M6.5
M6
100,000  
  ISO 9      

粒径分布は規格ごとに多少異なりますが同一と考えて問題ありません。

クリーンルームの利用工程と清浄度
単位 工程 清浄度クラス
10 100 1,000 10,000 100,000
半導体工業 結晶製造        
ウエハー製造      
拡散          
ウエハー処理      
フォトリングラフィ        
チップ製造      
組立      
検査    
液晶 基板洗浄        
フォトリングラフィ        
カラーフィルタ      
組立      
電子機器 磁気ドラム・テープ        
シャドーマスク      
高信頼管          
精密機械 ジャイロスコープ
・ミニチュアベアリング
         
ロケット用部品      
時計・計器・ベアリング        
光学印刷 レンズ      
LSIマスク        
プリント板    
フィルム        
精密印刷    
その他 無塵衣洗濯    
レーザ発生機      
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